课程名称:半导体制造工艺技术

教学内容:“芯”欣向荣，“机”不可失——光刻图形异常故障处理

主讲教师:陈新娟 通信与信息工程系

重点难点:         

重点：光刻图形异常故障处理

难点：光刻机的工作原理

内容简介

通过热点话题引发学生探讨，激发使命担当、爱国热情。

结合工艺工程师岗位需求，发布任务：光刻图形异常故障处理。 采用任务驱动，问题导向，激发学生学习动力，培养合作意识。学生完成光刻机的工作原理解说，并对光刻机种类进行区分识别，结合CD尺寸的讲解，弘扬工匠精神。利用虚拟平台，学生熟练完成光刻机曝光工艺操作，解决光刻图形异常故障，夯实技能，强化品质和规范意识。

价值目标

激发民族荣誉感，树立使命担当意识；

激发团结协作意识，促进小组合作互助；

强化职业规范意识，培养品质观念，弘扬工匠精神。

实施过程

1.关注社会热点，弘扬使命担当

从“用口罩换光刻机”的网络热点话题为导入，引发学生思考：为什么高端技术是卡脖子问题？唯有自主研发，才能打破技术封锁，真正成为制造强国，激发学生的民族荣誉感，树立使命担当意识。

2.执行学习任务，促进合作学习

发布教学任务：光刻图形异常故障处理。以光刻工序实际生产中的故障图为切入点，激发学习动力和创新意识。学生讨论，针对故障种类进行分类并发言，锁定场偏故障原因，引出光刻机的工作原理，促进互助合作学习。

3.精准参数计算，弘扬工匠精神

播放光刻机的工作原理动画，结合摩尔定律引出特征尺寸CD概念，学生汇报光刻机的分类以及目前市场光刻机的特征参数，教师总结CD参数在“3nm”集成电路工艺和EUV光刻机等方面的重要意义。唯有精益求精，才能生产出高集成度、高效、高性能、低价格的芯片，以此弘扬工匠精神。

4.突出虚实结合，强化品质意识

学生于虚拟平台完成光刻工艺的相关操作，领料与参数设置——>设备运行——>故障处理，明确参数设置的意义——“失之毫厘，谬以千里”，结合企业在实际工艺生产中的故障，分析原因并掌握故障解决的基本方法。校企联动，虚实结合，品质把控，通过本环节着重培养学生的职业技能，强化品质和规范意识。

教学体会

课程思政不仅要求教师具有较强的专业知识技能，同时要有崇高的德行和敏锐的政治洞察力，巧妙有效地将思政教育与专业技能培养相融合，实现教之以事，而喻诸德，激发学生的学习动机，产生价值认同感、归属感以及使命感，实现立德树人，培养大国工匠！